激光平面干涉儀
激光平面干涉儀 型號：XQ15-G3
用途和特點：
XQ15-G3實用型激光平面干涉儀在保留XQ15-G1激光平面干涉儀的用途及特點的狀況下，更具實用性，可更廣泛適用于大批量生產單位的生產車間。檢驗車間的平面度、微小楔角測量，更適合于大平板生產流水線快速篩選的應用。
技術參數：
第一標準平面（A面），工作直徑D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
第二標準平面（B面），工作直徑D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
準直系統－－－－－－－－－－－－－－－－－工作直徑Φ146mm，焦距 f = 400mm
光源規格－－－－－－－－－－－－－－－－－激光ZN18(He-Ne)
干涉室尺寸－－－－－－－－－－－－－－－－530×270×150mm
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